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RTA系列快速热退火炉
分类 Advance Riko 红外金面反射炉
型号 RTA
品牌 Advance Riko
产地 日本，进口

产品简介

 

 

RTA系列快速热退火炉

RTA系列可处理2~12 英寸（50~300mm）的样品，10s内即可到设置的退火温度。

该炉体采用水冷壁的结构，结合红外加热的高能量密度，近红外的波长快速升温特点，搭配高精度，快速响应的温控器进行精确温度控制。

RTA系统可满足用户对于工艺配方的控制（温度控制，升降温速率控制，气氛及气体流量控制等）。RTA系统有助于找到最佳的热处理方式

 

 

应用

·  离子注入后的活化退火

·  沉积氧化膜的退火

·  欧姆电极合金化

·  PZT，SBT和其它铁电薄膜的结晶退火

·  硅化物及自对准硅化物的生成

·  发光元件，半导体激光基板的热处理

·  超浅结的生成

·  铁电电容器沉积

·  栅氧化膜的生成

 

特点：

· 最高升温速率可达200℃/s

· 可搭配自动传样机器人

·  可连接半导体制造设备

·  各个加热区的灯管功率单独可控，可以对不同尺寸的样品实现均匀加热

 

参数：

 
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