产品详情 PRODUCT

SuperLIX-R非接触法激光热膨胀仪

分类 Advance Riko SuperLIX-R 非接触法激光热膨胀仪
型号
品牌
产地

产品简介

 
应用案例
* 零膨胀材料的研制
* 负极负热膨胀材料的研制
* 标准材料开发
* 致动器材料的开发
 
用途
* 10-9/K级极低膨胀系数材料(玻璃,陶瓷,金属等)的高精度热膨胀测量
* 半导体生产装置光学曝光元件的测量
* 测量精密载物台零件
* 航空航天相关高精度所需材料的测量
* 高精度光图基板构件的测量
* 低膨胀系数材料的质量控制
* 标准热膨胀仪校准样品的测量
 
特点
* 通过在设备中包括振动消除机构,可以防止振动扰动的影响,并且可以在能够稳定使用普通电子天平(0.01毫克分辨率)进行分析的环境中进行测量。(日本专利:2016-058190、058191、058192)
* 测量样品相对于激光波长(632.8 nm)的位移量。集成光学元件可以消除杂散光,提高干涉条纹信号的  信噪比。不需要特殊位移校准的测量和操作。
* 通过用图像传感器检测干涉条纹并对其进行图像处理,即使在样品测量过程中,也可以以高分辨率(1纳 米)计算位移(膨胀/收缩)量,并确认膨胀系数。
* 符合JIS R3251-1990标准
 
设备参数
 
应用实例
 
 
 
拨打电话咨询