原子层沉积系统ALD企业
发表时间：2023-08-27
ALD原子层沉积设备厂家有以下几个：
* 日本AGUS
* PICOSUN：提供原子层沉积系统ALD PICOSUN ALD R-200系列和ALD R-300 Pro。
* 深圳市蓝星宇电子科技有限公司。
* 德国Sentech。
* 美国泛林（Lam）。
* 应用材料（AMAT）。
* Eugenus Veeco。
* Beneq（已被中车收购）。
* Leadmicro（江苏微导）。
* 北方华创。
* 理想能源。
* Oxford Instruments。
* FORGE NANO。
* Solaytec NCD。
除上述外，ald原子层沉积设备厂家还有ASM International、TOKYO ELECTRON等。
